超越10万个。单台价格超越26亿人民币。全世界只要荷兰 ASML 一家能造。

  这些都是我们耳熟能详的事了。但有一个问题很少有人提：这10万个零件里边，阀门、真空泵、密封件这些「小东西」，到底是谁在供？

  我前阵子翻了一份半导体设备零部件的职业陈述，里边有个数字让我愣了一下：我国半导体设备用的高端真空阀门，国产自给率不到2%。

  这意味着什么？意味着我国的芯片厂、设备厂，每装一台刻蚀机、每建一条产线，里边那些操控气体进出的精细阀门，简直悉数要从国外买。买谁的？首要是一家瑞士公司，叫 VAT Group。

  VAT 此公司你大概率没听说过。它不像 ASML 那么知名，也不像德国蔡司那样经常被媒体提起。但在半导体设备这条供应链上，VAT 是个隐形大佬。

  半导体真空阀门这个细分商场，VAT 的全球市占率超越70%。在先进制程范畴，这一个数字听说超越90%。2025年全年营收超越10亿瑞士法郎，折合人民币大约80亿。80亿，就靠卖阀门。

  芯片制作的中心工艺，不管是光刻、刻蚀仍是薄膜堆积，都需求在真空环境下完结。特别是 EUV 光刻机，用的是13.5纳米波长的极紫外光，这种光碰到空气就被吸收了，连一毫米都传不出去。所以整台机器内部有必要抽成超高线次方帕斯卡。

  打个比如，一般大气压是10万帕斯卡。EUV 光刻机里边的气压，是大气压的百亿分之一。

  在这种极点环境下，阀门干的活不是简略的「开」和「关」。它要准确操控各种工艺气体的流量、时序和压力，一同确保必定不能够漏气，必定不能够发生微粒污染。一个阀门漏了，整台几亿的设备就得停机；一颗肉眼看不见的微粒掉进去，一片晶圆就作废了。

  所以半导体真空阀门的技能方面的要求极端反常：超高洁净度、超低漏率、耐腐蚀、耐高温、动作精度到微秒级。

  VAT 在这样的范畴深耕了几十年，有很多专利和工艺堆集。全球首要的半导体设备厂商，不管是 ASML、使用资料仍是东京电子，产线上装的根本都是 VAT 的阀门。美国的世伟洛克（Swagelok）在气体管路阀门上也占了很大比例。

  这就形成了一个局势：我国的半导体设备越做越好，北方华创的刻蚀机、拓荆科技的薄膜堆积设备、芯源微的涂胶显影设备，一个比一个争光。但你把这些设备拆开看，里边的中心零部件，阀门买瑞士的，真空泵买欧美的，射频电源买美国的。

  一个做半导体设备的朋友跟我说过一句话：整机国产化率看着挺高，但你如果把「卡脖子零部件」独自拎出来算，国产化率低得吓人。

  很多人对沈阳的形象还停留在重工业、老国企、铁西区那些冒烟的烟囱。但实际上，沈阳这些年闷声干了一件大事：搞出了一个半导体配备工业集群。

  拓荆科技，国内薄膜堆积设备的头部企业，沈阳的。芯源微，涂胶显影设备的龙头，沈阳的。新松机器人，做半导体晶圆转移的真空机械手，沈阳的。富创精细，半导体设备精细零部件，沈阳的。中科仪，做干式真空泵的，也是沈阳的。

  这个集群的特色是什么？是「整机+零部件」配套。不但做设备，还做设备里边的中心零件。

  富创精细的开创人叫郑广文，1966年生人，吉林工大结业。他早年是做轿车4S店的，生意做得挺好。2003年，中科院沈阳自动化研究所旗下有家公司改制，郑广文投了钱进去。2008年正式创立了富创精细。

  一个卖轿车的人去搞半导体精细零部件，其时没几个人了解。郑广文自己后来承受媒体采访时说，那会儿轿车职业「日进斗金」，但他便是觉得做制作业结壮，并且半导体是制作业里最高端的。

  起步阶段十分苦楚。半导体设备零部件的加工精度要求极高，一个真空腔体的外表粗糙度要做到纳米级，焊缝不能有任何气孔，尺度公役比头发丝还细。

  更要命的是客户验证。你做出来了，人家不敢用。半导体产线容错率为零，换一个新供货商的零件，如果出了问题，一片晶圆几千块钱，一天停产的丢失是按百万算的。所以世界大厂对零部件供货商的认证极端严厉，一轮验证走下来少说一年，多的三五年。

  2022年在科创板上了市。2024年营收做到30亿。2025年超越35亿。客户名单里有使用资料、东京电子这些全球顶尖的设备厂商，也有北方华创、中微公司、拓荆科技这些国产设备厂。

  中科仪的全名很长：我国科学院沈阳科学仪器股份有限公司。前身是1958年建立的中科院沈阳科学仪器研制中心，跟共和国同龄的那批老所。

  这家企业做的是干式真空泵。真空泵跟真空阀门是一对伙伴，一个担任抽气，一个担任操控。芯片制作里用的干式真空泵，曾经也是被欧美日企业独占的。

  中科仪干了一件他人没干成的事：它是国内仅有一家在14纳米先进逻辑芯片和128层以上3D NAND 存储器产线上完成批量使用的国产干泵企业。

  这句话很绕，但你只需求记住一个意思：我国最先进的芯片产线上，用的国产真空泵，便是这家沈阳企业做的。

  2024年，中科仪的营收做到10.8亿。2025年将近13亿。本年4月29日，中科仪在北交所上了市。这是北交所时隔三年重启询价发行后的第一家硬科技公司，也是本年沈阳的第一家上市公司。

  凯必特斯，2014年建立，总部在上海，专门做半导体真空阀门。产品现已导入了盛美半导体、中芯世界、华虹这些客户的供应链。

  沈阳也有一家做超高真空部件的企业——沈阳市超高真空使用技能研究所。这是一家民营科技企业，做闸阀、直角阀这些真空部件，产品用在了多种真空配备上。

  加上中科仪的真空泵、富创精细的精细腔体和结构件，沈阳这个集群现已在半导体设备的「心脏零部件」范畴布了一个局。

  VAT 一年营收80亿人民币，光靠卖阀门。我国一切做半导体真空阀门的企业加起来，营收或许还不到 VAT 的零头。

  更要害的距离不在规划，在于「工艺堆集」和「客户信赖」。半导体阀门不是你做出来就能卖的。你的产品要在客户的产线上跑半年、一年，稳定性数据堆集到满足量，人家才敢用。VAT 跟 ASML、使用资料这些大厂绑了几十年，每一代新设备的开发阶段就参加进去了，阀门是跟设备一同「联调」出来的。这种深度绑定联系，新进入者很难撬动。

  资料也是个问题。阀门的密封件、阀体资料、外表处理工艺，这些「隐性常识」需求长时刻的工程堆集。你能够把 VAT 的阀门拆开看结构，但配方和工艺参数你看不出来。这跟当年我国追逐芯片的窘境很像——知道做什么，不知道怎样做到。

  还有一层很实际的问题：半导体职业的客户十分保存。换供货商对他们来说是巨大的危险。一个阀门出了问题，或许会引起整批晶圆作废，丢失几千万。所以即使国产阀门的功能测试数据不错，客户也会犹疑好久。

  国产真空泵的境况稍好一些。中科仪现已在先进产线上批量用了，算是跨过了「客户信赖」这道槛。但真空阀门的国产化率还在个位数，高端阀门范畴的打破还需求时刻。

  不过换一个视点看，五年前谁能想到国产干式线纳米产线？十年前谁能想到沈阳能长出一个半导体配备集群？

  沈阳这个城市有个特别的基因：它是共和国重工业的摇篮。1958年就有了真空技能研究所，同一年中科院在沈阳建了科学仪器研制中心。那时候做的是国防军工用的真空设备，跟半导体一毛钱联系都没有。但几十年堆集下来的精细加工能力、真空技能见识，到了今日变成了半导体设备零部件的底牌。

  富创精细2025年的营收超越35亿，拓荆科技、芯源微、中科仪也都在往上走。沈阳浑南那片「北方芯谷」里现在有几十家半导体相关企业。曾经人们说到沈阳，想到的是鞍钢、沈飞、一汽。现在多了一批姓名：拓荆、芯源微、富创、中科仪。

  这些企业养活了不少人。不是那种动辄几万人的大厂，但都是年薪十几二十万起步的技能岗。资料学、精细加工、真空技能、自动化操控，这些专业在沈阳忽然变得很吃香。

  一个阀门，比手掌大不了多少，但它卡在整个半导体工业链的咽喉上。瑞士人靠这一个小东西一年赚80亿。我国企业现在能做了，但还在验证、在追逐、在一点一点磕客户信赖。